Эволюция морфологии поверхности покрытий (Ti-Hf-Si)N при термическом воздействии

Abstract

Проанализированы результаты термического воздействия на образцы нанокомпозитного покрытия (Ti-Hf-Si)N. Выявлено снижение шероховатости покрытия в результате отжига и повышение твердости до значения 55,7 ГПа. Эволюция морфологии покрытий происходит в результате изменения структуры поверхностных слоев и процессов рекристаллизации. Изученные статистические характеристики рельефа поверхности покрытий согласуются с экспериментальными результатами.

Проаналізовано результати термічного впливу на зразки нанокомпозитного покриття (Ti-Hf-Si)N. Виявлено зниження шорсткості покриття в результаті відпалювання та підвищення твердості до значення 55,7 ГПа. Еволюція морфології покриттів відбувається в результаті зміни структури поверхневих шарів і процесів рекристалізації. Вивчені статистичні характеристики рельєфу поверхні покриттів узгоджуються з експериментальними результатами.

The results of the thermal effect on samples of nanocomposite coating (Ti-Hf-Si)N. Showed a reduction in the roughness of the coating as a result of annealing and hardening to a value of 55.7 GPa. Evolution coating morphology is the result of changes in the structure of the surface layers and recrystallization processes. The studies of statistical characteristics of the relief surface coatings are consistent with the experimental results.