Лендел, В.В.; Ломакіна, O.В.; Мельниченко, Л.Ю.; Шайкевич, І.А.
(Металлофизика и новейшие технологии, 2014)
Експериментально поміряно за допомогою метода Бітті і теоретично обчислено згідно з тришаровою моделлю тонкої плівки залежності еліпсометричних параметрів від кута падіння світла на плівку для трьох тонких плівок молібдену ...