Эрозия поверхности игольчатых нанокристаллов под действием бомбардировки ионами инертных газов

Abstract

Методом полевой ионной микроскопии исследована эрозия поверхности вольфрамовых автоэмиттеров, возникающая при низкоэнергетической ионной бомбардировке инертными газами. Установлено, что в радиационно-индуцированном изменении нанотопографии поверхности превалирующими являются процессы смещения поверхностных атомов в низкокоординированные положения. Отмечается, что смещённые поверхностные атомы могут играть существенную роль в процессах катодного распыления и поверхностной самодиффузии, активированной низкоэнергетической ионной бомбардировкой.

Методом польової іонної мікроскопії досліджено ерозію поверхні вольфрамових автоемітерів, що виникає при низькоенергетичному іонному бомбардуванні інертними газами. Встановлено, що в радіаційно-індукованій зміні поверхневої нанотопографії превалюють процеси зсуву поверхневих атомів у низькокоординовані положення. Відзначається, що зміщені поверхневі атоми можуть виконувати істотну роль у процесах катодного розпорошення і поверхневої самодифузії, активованої низькоенергетичним іонним бомбардуванням.

The surface erosion of tungsten field emitters induced by low-energy ion bombardment with inert gases is investigated, using field-ion microscopy. As shown, the displacement of surface atoms to the low-coordinated position is a prevailing process for the nanotopography changes under irradiation. As noted, the displaced surface atoms can play an essential role in the processes of the cathode sputtering and surface self-diffusion activated with lowenergy ion bombardment.