http://dspace.nbuv.gov.ua:80/handle/123456789/69903 Wed, 15 Apr 2026 06:02:48 GMT 2026-04-15T06:02:48Z http://dspace.nbuv.gov.ua:80/bitstream/id/207900/ http://dspace.nbuv.gov.ua:80/handle/123456789/69903 http://dspace.nbuv.gov.ua:80/handle/123456789/109288 The influence of plasma treatment of different cathode materials on current-voltage characteristics of mirror discharge in air Glazunov, G.P.; Bondarenko, M.N.; Konotopskiy, A.L. The behavior was investigated of current-voltage characteristics of Penning discharges in air atmosphere. Such materials were used as cathodes: stainless steel 12KH18N10T, iron, nickel, titanium, copper, aluminum, tungsten. It had been shown the behavior of current-voltage characteristics of Ti, Cu, W is typical for Penning discharges. But, if to use stainless steel or Al cathodes, no typical behavior of current-voltage characteristics was observed, namely, the discharge current abrupt increase after threshold value of discharge voltage. The physical-chemical mechanism is suggested and discussed to explain this effect.; Исследовано поведение вольт-амперных характеристик (ВАХ) разрядов Пеннинга в атмосфере воздуха. В качестве катодов были использованы такие материалы: нержавеющая сталь 12Х18Н10Т, железо, никель, титан, медь, алюминий, вольфрам. Показано, что поведение вольт-амперных характеристик плазмы для таких материалов катода как титан, медь, вольфрам типично для отражательного разряда. Но при использовании в качестве материалов катода нержавеющей стали и алюминия наблюдалось не типичное поведение вольт-амперных характеристик, а именно, резкий рост тока при превышении порогового значения напряжения. Предлагается физико-химический механизм для объяснения этого эффекта.; Досліджена поведінка вольт-амперних характеристик (ВАХ) розрядів Пеннінга в атмосфері повітря. Як катоди були використані такі матеріали: нержавіюча сталь 12Х18Н10Т, залізо, нікель, титан, мідь, алюміній, вольфрам. Показано, що поведінка вольт-амперних характеристик плазми для таких матеріалів катода як титан, мідь, вольфрам типово для відбивного розряду. Але при використанні в якості матеріалів катода нержавіючої сталі і алюмінію спостерігалася не типова поведінка вольт-амперних характеристик, а саме, різке зростання струму при перевищенні порогового значення напруги. Пропонується фізико-хімічний механізм для пояснення цього ефекту. Tue, 01 Jan 2013 00:00:00 GMT http://dspace.nbuv.gov.ua:80/handle/123456789/109288 2013-01-01T00:00:00Z http://dspace.nbuv.gov.ua:80/handle/123456789/109287 Experimental investigation and computer simulation of the magnetron sputtering device with two erosion zones Bogdanov, R.V.; Kostiukevych, O.M. There was built the self-consistent computer model of the magnetron sputtering device with two erosion zones of cathode-target, based on Monte Carlo algorithm. The magnetron sputtering device is an additional module for the industrial vacuum system VUP-5. The results of computer simulation and the experimental data from test targets sputtering on this magnetron sputtering device demonstrated their compliance in the identical conditions.; Построена самосогласованная компьютерная модель магнетронного распылительного устройства с двумя зонами эрозии катода-мишени. Использовался алгоритм Монте-Карло. Магнетронное распылительное устройство является дополнительным модулем для промышленной вакуумной установки ВУП-5. Сравнение результатов компьютерного моделирования и экспериментальных данных распыления тестовых мишеней на данном магнетронном распылительном устройстве продемонстрировало их соответствие при одинаковых условиях.; Побудована самоузгоджена комп’ютерна модель магнетронного розпилювального пристрою з двома зонами ерозії катода-мішені. Використовувався алгоритм Монте-Карло. Магнетронний розпилювальний пристрій є додатковим модулем для промислової вакуумної установки ВУП-5. Порівняння результатів комп’ютерного моделювання та експериментальних даних розпилення тестових мішеней на даному магнетронному розпилювальному пристрої продемонструвало їх відповідність за однакових умов. Tue, 01 Jan 2013 00:00:00 GMT http://dspace.nbuv.gov.ua:80/handle/123456789/109287 2013-01-01T00:00:00Z http://dspace.nbuv.gov.ua:80/handle/123456789/109286 Characteristics of discharge in crossed ЕxН fields near breakdown curve in acceleration and plasma regime Jamirzoev, A.; Yakovin, S.; Zykov, A. In the present study the characteristics of discharge in crossed EH fields in acceleration and plasma regimes have been researched at low voltages near the breakdown curve. The new experimental data for current-voltage characteristic and their dependence on argon pressure and magnetic fields strength are presented. It is shown that initial stage of the current-voltage characteristic in acceleration and plasma regime are quite similar and correspond to regime with “oscillating” electrons. The theoretic model based on the energy balance of electrons in plasma regime is presented as well as the comparison of the theory with the experiment. The obtained results may be useful for further development of magnetron sputtering systems and plasma accelerators with closed electrons drift.; Исследованы характеристики разряда в скрещенных ЕxН полях в ускорительном и плазменном режимах вблизи порога зажигания. Получены новые экспериментальные данные для вольт-амперных характеристик и их зависимости от давления и напряженности магнитного поля. Показано, что стартовые участки вольт- амперных характеристик в ускорительном и плазменном режимах идентичны и соответствуют режиму с «осциллирующими» электронами. Также представлена теоретическая модель на основе энергетического баланса электронов и проведено сравнение с экспериментом. Полученные результаты представляют интерес для дальнейшего развития магнетронных распылительных систем и плазменных ускорителей с замкнутым дрейфом электронов.; Досліджено характеристики розряду в схрещених ЕxН полях у прискорювальному та плазмовому режимах поблизу порогу запалювання. Отримано нові експериментальні дані для вольт-амперних характеристик та їх залежності від тиску та сили магнітного поля. Показано, що стартові участки вольт- амперних характеристик у прискорювальному та плазмовому режимах ідентичні і відповідають режиму з «осцилюючими» електронами. Також представлено теоретичну модель на базі енергетичного балансу електронів та проведено порівняння з експериментом. Отримані дані будуть корисні для подальшого розвитку магнетронних розпилювальних систем та плазмових прискорювачів з замкнутим дрейфом електронів. Tue, 01 Jan 2013 00:00:00 GMT http://dspace.nbuv.gov.ua:80/handle/123456789/109286 2013-01-01T00:00:00Z http://dspace.nbuv.gov.ua:80/handle/123456789/109285 Particle charging in beam-plasma systems Bizyukov, А.А.; Romashchenko, E.V.; Sereda, K.N.; Abolmasov, S.N. The particle charging in an electron beam-plasma discharge is studied by means of the classical orbit motion limited approximation and on the basis of a discrete charging model. The particle charge fluctuations due to the stochastic nature of charging process are considered. The Fokker-Planck description of the particle charging has been presented. An analytical expression for the charge distribution function has been derived taking into account the processes of the collection of plasma electrons and ions by the dust grain and secondary electron emission from it.; В рамках классического приближения ограниченного орбитального движения и на основе дискретной модели изучается зарядка частиц в пучково-плазменных разрядах. Рассматриваются флуктуации заряда частиц, связанных со случайностью процесса зарядки. Представлено описание Фоккера-Планка зарядки частиц. Выведено аналитическое выражение для функции распределения заряда с учетом процессов поглощения электронов и ионов плазмы пылевой частицей и с учетом вторичной электронной эмиссии.; У рамках класичного наближення обмеженого орбітального руху та на підставі дискретної моделі вивчається зарядження частинок у пучково-плазмових системах. Розглянуто флуктуації зарядження частинок, пов’язаних з випадковістю процесу зарядження. Представлено опис Фоккера-Планка зарядження частинок. Отримано аналітичний вираз для функції розподілу заряду, з урахуванням процесів поглинання електронів та іонів плазми пиловою частинкою та з урахуванням вторинної електронної емісії. Tue, 01 Jan 2013 00:00:00 GMT http://dspace.nbuv.gov.ua:80/handle/123456789/109285 2013-01-01T00:00:00Z