http://dspace.nbuv.gov.ua:80/handle/123456789/193976 Thu, 09 Apr 2026 22:12:26 GMT 2026-04-09T22:12:26Z http://dspace.nbuv.gov.ua:80/bitstream/id/576010/ http://dspace.nbuv.gov.ua:80/handle/123456789/193976 http://dspace.nbuv.gov.ua:80/handle/123456789/194909 Investigation of interaction between ion-beam plasma and processed surface during the synthesis of tantalum diboride and pentaoxide Yakovin, S.; Zykov, A.; Dudin, S.; Dakhov, A.; Yefymenko, N. The paper is devoted to investigation of spatial distributions of ion current density to a sample in technological set-up with magnetron sputtering system and ICP source. The dependence of the ion flux towards the processed surface on the parameters of the deposition process was measured. The following parameters were varied: magnetron discharge power, gas type and pressure, target-sample distance, inductive discharge power, and bias potential applied to the samples. The effect of nonequilibrium heating of the sample surface due to relaxation of kinetic energy of ions, atoms and electrons, as well as energy of exothermic chemical reactions at synthesis of Ta₂O₅ and TaB₂ films is discussed. The influence of sample shape on the ion bombardment is also investigated.; Досліджено просторові розподіли щільності іонного струму на зразок у технологічній установці з магнетроном та індукційним джерелом плазми. Виміряно залежності потоку іонів на оброблювану поверхню від параметрів процесу осадження, таких як: потужність магнетрона і індуктивного розряду, тип і тиск газу, потужність, потенціал зсуву на зразок. Обговорюється вплив нерівноважного нагріву поверхні зразка за рахунок релаксації кінетичної енергії іонів, атомів і електронів, а також енергії екзотермічних хімічних реакцій при синтезі плівок Ta₂O₅ і TaB₂. Досліджено вплив форми зразка на іонне бомбардування.; Исследованы пространственные распределения плотности ионного тока на образец в технологической установке с магнетроном и индукционным источником плазмы. Измерены зависимости потока ионов на обрабатываемую поверхность от параметров процесса осаждения, таких как: мощность разряда магнетрона и индуктивного разряда, тип и давление газа, мощность, потенциал смещения, подаваемый на образец. Обсуждаются влияние неравновесного нагрева поверхности образца за счет релаксации кинетической энергии ионов, атомов и электронов, а также энергии экзотермических химических реакций при синтезе пленок Ta₂O₅ и TaB₂. Исследовано влияние формы образца на ионную бомбардировку. Tue, 01 Jan 2019 00:00:00 GMT http://dspace.nbuv.gov.ua:80/handle/123456789/194909 2019-01-01T00:00:00Z http://dspace.nbuv.gov.ua:80/handle/123456789/194908 To the 25- th anniversary of the institute of plasma physics of the national science center “Kharkov Institute of Physics and Technology” Tue, 01 Jan 2019 00:00:00 GMT http://dspace.nbuv.gov.ua:80/handle/123456789/194908 2019-01-01T00:00:00Z http://dspace.nbuv.gov.ua:80/handle/123456789/194907 Threehalf-turn antennas start-up Moiseenko, V.E.; Lozin, A.V.; Kozulia, M.M.; Korovin, V.B.; Beletskii, A.A.; Baron, D.I.; Grigor’eva, L.I.; Chechkin, V.V.; Mironov, Yu.K.; Romanov, V.S.; Shapoval, A.N.; Makhov, M.M.; Konovalov, V.G.; Pavlichenko, R.O.; Zamanov, N.V.; Dreval, N.B.; Slavnij, A.S.; Turianska, O.V.; Uragan-2M Team The start-up experiments were carried out at Uragan-2M stellarator with the Three-Half-Turn antenna (THT) without any pre-ionization. Conditions for optimal gas breakdown were found out through the variation of the neutral gas pressure, magnetic field strength and anode voltage of RF generator. The plasma parameters were measured with three Langmuir probes, optical spectroscopy and mutichord optical diagnostics.; На стелараторі Ураган-2М було проведено модельні експерименти зі старту трьохнапіввиткової (ТНВ) антени без предіонізації. Підбором тиску нейтрального газу, напруженості магнітного поля й анодної напруги ВЧ-генератора було знайдено оптимальні умови пробою газу. Параметри плазми вимірювались трьома ленгмюрівськими зондами, оптичною спектроскопією та багатохордовою оптичною діагностикою.; На стеллараторе Ураган-2М были проведены моделирующие эксперименты по старту трёхполувитковой (ТПВ) антенны без предионизации. Подбором давления нейтрального газа, напряжённости магнитного поля и анодного напряжения ВЧ-генератора были найдены оптимальные условия пробоя газа. Параметры плазмы измерялись тремя ленгмюровскими зондами, оптической спектроскопией и многохордовой оптической диагностикой. Tue, 01 Jan 2019 00:00:00 GMT http://dspace.nbuv.gov.ua:80/handle/123456789/194907 2019-01-01T00:00:00Z http://dspace.nbuv.gov.ua:80/handle/123456789/194906 Some features of the dynamics of suprathermal electrons after RF heating off at the Uragan-3M stellarator plasmas Zamanov, N.V.; Pavlichenko, R.O.; Kulaga, A.E. For the past decades the microwave radiometry is a routinely used as diagnostic tool to obtain the information on temporal evolution and radial profile of the electrons temperature at Uragan-3M torsatron plasma experiments. However, in the case of low plasma density operation we observe the high level of emission at the frequencies that match the second and third harmonics of the extraordinary mode of electron cyclotron emission (ECE), after RF heating pulse off. This effect could be explained with the production of the suprathermal electrons. The present work describes the suprathermal electrons (SE) dynamics after turning off the RF heat pulse at the Uragan-3M torsatron (ne=2·10¹² cm⁻³ Te=300 eV, PRF=115 kW, B0=0.69 T). In the absence of the well-known suppressive echniques (resonant magnetic perturbations and massive gas injection) an attempt was made to describe the factors, which contribute to the generation of the suprathermal electrons for the Uragan-3M plasmas. The temporal evolution of the ECE emission intensity and it dependence on the working gas pressure in the torsatron vacuum chamber is presented. The level of the ECE emission shows strong correlation with other diagnostics (plasma density, plasma current, HXR and Hα emission intensity). The gradual increase of the pressure (after RF off) could be is one of the reasons that temporarily sustain the process of electron acceleration. The dependence of the time ECE emission on the rate in magnetic field change (δB) is also given.; Протягом останніх десятиліть мікрохвильова радіометрія регулярно використовується для отримання інформації про часову еволюцію та радіальний профіль температури електронів під час плазмових експериментів на торсатроні Ураган-3М. Тим не менш, у випадку низькощільної плазми за допомогою цієї діагностики спостерігається поява випромінювання на частотах, відповідних другій і третій гармонікам незвичайної хвилі циклотронного випромінювання (ЕЦВ), після відключення імпульсу високочастотного нагріву. Цей ефект можна пояснити існуванням надтеплових електронів. Описані динаміка надтеплових електронів (НЕ) після виключення ВЧ-імпульсу на торсатроні Ураган-3М (ne=2·10¹² см⁻³, Te=300 еВ, PRF=115 кВт, B0=0,69 Tл). За відсутності відомих методів придушення (резонансні магнітні збурення і масивна інжекція газу) була зроблена спроба описати фактори, що сприяють генерації надтеплових електронів у плазмі Ураган-3М. Представлена тимчасова динаміка інтенсивності емісії ЕЦВ і її залежність від тиску робочого газу у вакуумній камері торсатрона. Рівень емісії ЕЦВ демонструє чітку кореляцію з результатами інших методів діагностики (щільність плазми, струм плазми, HXR і Hα). Поступове підвищення тиску (після відключення ВЧ-потужності) може бути однією з причин, які підтримують процес прискорення електронів. Також наведена часова залежність випромінювання ЕЦВ від швидкості зміни магнітного поля (δB/δt).; В последние десятилетия микроволновая радиометрия регулярно используется в качестве диагностического инструмента для получения информации о временной эволюции и радиальном профиле температуры электронов в экспериментах на торсатроне Ураган-3М. Тем не менее, в случае низкоплотной плазмы при помощи этой диагностики наблюдается появление излучения на частотах, соответствующих второй и третьей гармоникам необыкновенной волны циклотронного излучения (ЭЦИ), после отключения импульса высокочастотного нагрева. Этот эффект можно объяснить существованием надтепловых электронов. Описана динамика надтепловых электронов (НЭ) после выключения ВЧ-импульса на торсатроне Ураган-3М (ne=2·10¹² см⁻³, Te=300 эВ, PRF=115 кВт, B0=0,69 Tл). В отсутствие известных методов подавления (резонансные магнитные возмущения и массивная инжекция газа) была предпринята попытка описать факторы, способствующие генерации надтепловых электронов в плазме Ураган-3М. Представлена временная динамика интенсивности эмиссии ЭЦИ и ее зависимость от давления рабочего газа в вакуумной камере торсатрона. Уровень эмиссии ЭЦИ демонстрирует строгую корреляцию с результатами других методов диагностики (плотность плазмы, ток плазмы, интенсивность HXR и Hα). Постепенное повышение давления (после отключения ВЧ-мощности) может быть одной из причин, которые поддерживают процесс ускорения электронов. Также приведена временная зависимость излучения ЭЦИ от скорости изменения магнитного поля (δB/δt). Tue, 01 Jan 2019 00:00:00 GMT http://dspace.nbuv.gov.ua:80/handle/123456789/194906 2019-01-01T00:00:00Z