http://dspace.nbuv.gov.ua:80/handle/123456789/70583 2026-04-06T03:42:58Z http://dspace.nbuv.gov.ua:80/handle/123456789/70727 Выставки. Конференции 2003-01-01T00:00:00Z http://dspace.nbuv.gov.ua:80/handle/123456789/70726 Новые книги 2003-01-01T00:00:00Z http://dspace.nbuv.gov.ua:80/handle/123456789/70725 Кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах Полтавцев, Ю.Г.; Вирченко, П.Т.; Костюк, В.В. Методом радиоактивных изотопов исследована десорбция катионов (Na¹⁺, Fe³⁺, Cu2⁺, Ag¹⁺) и атомов (Au) металлов и анионов S²⁻ и Cl¹⁻ с поверхности кремниевых пластин КДБ-10 ориентации (100) и (110) при их обработке при 70°С в перекисно-аммиачных растворах трех составов. 2003-01-01T00:00:00Z http://dspace.nbuv.gov.ua:80/handle/123456789/70724 Влияние кремниевой подложки на пробивное напряжение разветвленного n++-p+-перехода Сидоренко, В.П.; Кизяк, А.Ю.; Николаенко, Ю.Е. Рассмотрено влияние микродефектов, а также примесей кислорода и углерода в кремниевой подложке на пробивное напряжение неуправляемого n⁺⁺-p⁺-перехода. Кратко рассмотрен механизм влияния примеси кислорода на тип пробоя. Рассмотрены возможности практического использования результатов данной работы в технологии изготовления СБИС. 2003-01-01T00:00:00Z