Dynamics of EUV-radiation from the partially contracted plasma diode

Abstract

The possibility of forming the directional plasma extreme ultraviolet (EUV) radiation under the partial contraction of the current channel by the dielectric insert in a high-current plasma diode is studied. The discharge characteristics and their impact on the dynamics of the radiation in the wavelength range of 12.2…15.8 nm are studied. The input efficiency of energy in the discharge is higher one in the case of partial contraction of the current channel by the dielectric insert which leads to an increase of the EUV-radiation intensity.

Исследована возможность формирования направленного ЭУФ-излучения плазмы при частичном контрагировании токового канала диэлектрической стенкой в сильноточном плазменном диоде. Исследованы разрядные характеристики и их влияние на динамику излучения в диапазоне длин волн 12,2…15,8 нм. Показано, что при частичном контрагировании токового канала диэлектрической стенкой наблюдается более высокая эффективность ввода энергии в разряд, приводящая к увеличению интенсивности ЭУФ-излучения.

Досліджено можливість формування спрямованого ЕУФ-випромінювання плазми при частковому контрагуванні струмового каналу діелектричною стінкою в потужнострумовому плазмовому діоді. Досліджені розрядні характеристики та їхній вплив на динаміку випромінювання в діапазоні довжин хвиль 12,2…15,8 нм. Показано, що при частковому контрагуванні струмового каналу діелектричною стінкою спостерігається більш висока ефективність введення енергії в розряд, що призводить до збільшення інтенсивності ЕУФ-випромінювання.