Анализ свойств наноповерхностей по ACM изображениям

Abstract

В данной статье представлена схема алгоритма анализа наноповерхности по изображениям атомно-силовой микроскопии. В основе анализа лежит коррекция неравномерного контраста и выделение объектов с округлой формой. Данный алгоритм позволил определить не только классические характеристики описания наноповерхности, такие как шероховатость, но и дополнительные характеристики нанообъектов, позволяющие получить как их индивидуальное, так и групповое описание.

У даній статті представлена схема алгоритму аналізу наноповерхності за зображеннями атомно-силової мікроскопії. В основі аналізу лежить корекція нерівномірного контрасту і виділення об’єктів з округлою формою. Даний алгоритм дозволив визначити не тільки класичні характеристики опису наноповерхності, такі як шорсткість, але і додаткові характеристики нанооб’єктів, що дозволяють отримати як їх індивідуальний, так і груповий опис.

In this paper the scheme of algorithm of nano-surface image analysis of atomic force microscopy was described. The analysis is based on correction of uneven contrast and object selection with a rounded shape. This algorithm allowed us to determine not only the classical characteristics of nano-surface such as roughness, but it included additional characteristics of several nano-objects.