Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України
періодичних видань НАН України
Компенсация систематических погрешностей тонкопленочных элементов через элементы фотошаблона
Репозиторій DSpace/Manakin
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.
Компенсация систематических погрешностей тонкопленочных элементов через элементы фотошаблона
Інші назви:
Компенсація систематичних похибок топко плівкових елементів через елементи фотошаблону
Compensation for thin-film component systematic errors by mask elements
Compensation for thin-film component systematic errors by mask elements
Тема:
Проектирование. Конструирование
Посилання:
Компенсация систематических погрешностей тонкопленочных элементов через элементы фотошаблона / В.Г. Спирин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2004. — № 4. — С. 9-11. — Бібліогр.: 3 назв. — рос.
Дата:
2004
Переглядів:
779
Завантажень:
452
Анотація:
Предложена компенсация погрешностей конструктивных параметров тонкопленочных элементов путем изменения размеров элементов фотошаблона по определенным алгоритмам.
