Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики

Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики

Белянин, А.Ф. ; Кривченко, В.А. ; Лопаев, Д.В. ; Павлушкин, Л.В. ; Пащенко, П.В. ; Пирогов, В.Г. ; Поляков, С.Н. ; Суетин, Н.В. ; Сушенцов, Н.И.

Інші назви: Наноструктуровані плівки ZnO для пристроїв мікроелектроніки та оптики
Nano-structured ZnO films for microelectronics and optical devices

Тема: Технологические процессы и оборудование

URI: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/53399

Посилання: Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики / А.Ф. Белянин, В.А. Кривченко, Д.В. Лопаев, Л.В. Павлушкин, П.В. Пащенко, В.Г. Пирогов, С.Н. Поляков, Н.В. Суетин, Н.И. Сушенцов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 6. — С. 48-55. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.

Дата: 2006

Завантажень: 2448

Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики

Анотація:

Пленки ZnO получены методом магнетронного ВЧ-распыления. Применялось дополнительное магнитное поле, создаваемое магнитной системой, помещенной за подложкодержателем.

Показати повний запис статті