Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України
періодичних видань НАН України
Обобщенный теоретический подход к анализу газофазных процессов эпитаксии
Репозиторій DSpace/Manakin
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.
Обобщенный теоретический подход к анализу газофазных процессов эпитаксии
Інші назви:
Узагальнений теоретичний підхід до аналізу газофазних процесів эпітаксії
Common theoretical approach to the gas phase epitaxy processes
Common theoretical approach to the gas phase epitaxy processes
Тема:
Технологические процессы и оборудование
Посилання:
Обобщенный теоретический подход к анализу газофазных процессов эпитаксии / В.А. Воронин, С.К. Губа, В.Н. Сиверс // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 3. — С. 50-55. — Бібліогр.: 23 назв. — рос.
Дата:
2006
Переглядів:
863
Завантажень:
512
Анотація:
Решение полученных уравнений для конкретных систем и реакторов позволяет определить неравновесные концентрации компонентов как функцию координат и времени в объеме реактора.
