Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України
періодичних видань НАН України
Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD
Репозиторій DSpace/Manakin
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.
Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD
Інші назви:
Моделювання технології виготовлення субмікронних КМОН НВІС за допомогою систем TCAD
Technological processes modelling of submicron CMOS VLSI producing with the modern TCAD systems
Technological processes modelling of submicron CMOS VLSI producing with the modern TCAD systems
Тема:
Технологические процессы и оборудование
Посилання:
Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD / А.А. Глушко, И.А. Родионов, В.В. Макарчук // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 4. — С. 32-34. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.
Дата:
2007
Переглядів:
966
Завантажень:
1143
Анотація:
Рассмотрены особенности технологических процессов изготовления субмикронных КМОП СБИС и их моделирования. Особое внимание уделено моделированию примесного профиля.
