Інші назви:Трьохкоординатний п’єзокерамічний сканер на біморф¬них п’єзоелементах для зондового наномікроскопа Three-coordinate the piezoceramic scanner on bimorphic piezoelements for probe nanomicroscope
Тема:Электронные средства: исследования, разработки
Посилання:Трехкоординатный пьезокерамический сканер на биморфных пьезо-элементах для зондового наномикроскопа / В.М. Шарапов, А.Н. Гуржий, С.А. Филимонов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 4. — С. 13-15. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.
Предложена и исследована конструкция пьезокерамического сканера для наномикроскопов на основе диморфных пьезоэлементов. Построена и исследована модель сканера при помощи программы MicroCap 7.0.