Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України
періодичних видань НАН України
Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем
Репозиторій DSpace/Manakin
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.
Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем
Інші назви:
Корекція оптичних ефектів близькості при проектуванні мікросхем
Optical proximity correction in IC production
Optical proximity correction in IC production
Тема:
Электронные средства: исследования, разработки
Посилання:
Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем / И.А. Родионов, В.В. Макарчук // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 3. — С. 30-32. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.
Дата:
2007
Переглядів:
864
Завантажень:
1317
Анотація:
На основании проведенных исследований был спроектирован фотошаблон для отработки режимов фотолитографии и дальнейшего изучения влияния эффектов оптической близости.
