Deposition of TiN-based coatings using vacuum arc plasma in increased negative substrate bias voltage

Домашня сторінка
→
Фізико-технічні та математичні науки
→
Відділення ядерної фізики та енергетики
→
Вопросы атомной науки и техники
→
Problems of Atomic Science and Technology, 2019
→
Problems of Atomic Science and Technology, 2019, № 5
→
Переглянути статтю

Deposition of TiN-based coatings using vacuum arc plasma in increased negative substrate bias voltage

Kuprin, A.S. ; Leonov, S.A. ; Ovcharenko, V.D. ; Reshetnyak, E.N. ; Belous, V.A. ; Vasilenko, R.L. ; Tolmachova, G.N. ; Kovalenko, V.I. ; Klimenko, I.O.

Інші назви: Осадження TiN-покриттів з використанням вакуумно-дугової плазми при підвищеній негативній напрузі підкладки
Осаждение TiN-покрытий с использованием вакуумно-дуговой плазмы при повышенном отрицательном напряжении подложки

Тема: Physics of radiotechnology and ion-plasma technologies

УДК: 669.056.9

URI: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/195216

Посилання: Deposition of TiN-based coatings using vacuum arc plasma in increased negative substrate bias voltage / A.S. Kuprin, S.A. Leonov, V.D. Ovcharenko, E.N. Reshetnyak, V.A. Belous, R.L. Vasilenko, G.N. Tolmachova, V.I. Kovalenko, I.O. Klimenko // Problems of atomic science and technology. — 2019. — № 5. — С. 154-160. — Бібліогр.: 29 назв. — англ.

Дата: 2019

Завантажень: 65

Deposition of TiN-based coatings using vacuum arc plasma in increased negative substrate bias voltage

Анотація:

The paper presents the results of the study on the influence of a high substrate bias voltage from 300 up to 1300 V on the titanium nitride coating deposition under nitrogen pressure of 2 Pa. The deposition rate, phase and chemical composition, adhesion and mechanical properties of coatings, macroparticle number and size distribution were investigated.

Представлені результати дослідження впливу високої напруги зсуву підкладки від 300 до 1300 В на осадження покриттів нітриду титану при тиску азоту 2 Па. Вивчені швидкість осадження, фазовий і хімічний склад, адгезія і механічні властивості покриттів, кількість і розподіл за розмірами макрочасток.

Представлены результаты исследования влияния высокого напряжения смещения подложки от 300 до 1300 В на осаждение покрытий нитрида титана при давлении азота 2 Па. Изучены скорость осаждения, фазовый и химический составы, адгезия и механические свойства покрытий, количество и распределение по размерам макрочастиц.

Показати повний запис статті