Basic plasma features of planar jet formed by capacitive RF discharge in atmosphere pressure argon

Abstract

Upgraded method of determining basic parameters of weakly ionized plasma by means of photometric study of bremsstrahlung emission continuum in visible spectrum range is described. Time-averaged spatial distributions of electron temperature and density in planar plasma jet formed by capacitive RF discharge in atmosphere pressure argon at the discharge glow in a low-current α-mode are experimentally obtained.

Описано вдосконалений метод визначення основних параметрів слабко іонізованої плазми шляхом фотометричного дослідження континууму гальмівного випромінювання у видимій області спектра. Експериментально отримано усереднені за часом просторові розподіли температури і густини електронів у пласкому плазмовому джеті, що формується за допомогою ємнісного ВЧ-розряду у аргоні атмосферного тиску при горінні розряду в слабкострумовому α-режимі.

Описан усовершенствованный метод определения основных параметров слабо ионизированной плазмы путем фотометрического исследования континуума тормозного излучения в видимой области спектра. Экспериментально получены усредненные во времени пространственные распределения температуры и плотности электронов в плоском плазменном джете, который формируется с помощью емкостного ВЧ-разряда в аргоне атмосферного давления при горении разряда в слаботочном α-режиме.