Investigation of beam extraction and formation in the ions injector

Abstract

The results of analytical and numerical studies an ion beam extraction and formation from a plasma source are presented. The influence of ion optics parameters on the ion beam characteristics is studied. The studies were carried out using a package of three-dimensional computer simulation of ion beams optics with allowance for space charge - IBSimu. The results show that of extraction electrode shape has an important role in shaping of the ion beam characteristics.

Представлені результати аналітичного та чисельного досліджень процесу вилучення та формування іонного пучка з плазмового джерела. Вивчено вплив параметрів іонної оптики на характеристики пучка іонів. Дослідження проводилися з використанням пакета тривимірного комп'ютерного моделювання оптики іонних пучків з урахуванням просторового заряду – IBSimu. Програмний код базується на бібліотеках С++. Результати показують, форма електрода, що екстрагує, грає важливу роль у формуванні характеристик іонного пучка.

Представлены результаты аналитического и численного исследований процесса извлечения и формирования ионного пучка из плазменного источника. Изучено влияние параметров ионной оптики на характеристики пучка ионов. Исследования проводились с использованием пакета трехмерного компьютерного моделирования оптики ионных пучков с учетом пространственного заряда – IBSimu. Программный код базируется на библиотеках С++. Результаты показывают, что форма экстрагирующего электрода играет важную роль в формировании характеристик ионного пучка.