Методами ІЧ-спектроскопії, термогравіметрії та мас-спектрометрії досліджено вплив оксидів титану і ванадію, якими модифікована поверхня пірогенного кремнезему, на процес хемосорбції гексаметилдисилазану. Ванадій та титановмісні кремнеземи синтезовано методом газофазного хімічного осадження TiCl₄ та VOCl₃. Розраховано константи швидкості та енергії активації реакції гексаметилдисилазану з вихідним кремнеземом та модифікованим оксидами титану та ванадію. Досліджена термічна деструкція прищеплених триметилсилільних груп. Встановлено, що оксиди ванадію татитану підвищують термічну стійкість прищеплених груп в окиснювальній атмосфері ізначно зменшують її у вакуумі.
IR-spectroscopy, thermogravimetry, and mass spectrometry were used to investigate the effect of chemical modification of fumed silica surface with titanium and vanadium oxides on the chemisorption of hexamethyldisilazane. Titanium- and vanadium-containing silicas were synthesized by CVD-method by treatment with TiCl₄ and VOCl₃. The constants of rate and activation energy of hexamethyldisilazane reaction with initial silica and that modified with titanium and vanadium oxides have been determined. The thermal destruction of grafted -Si(CH₃)₃ groups was studied. It was found that the oxides of vanadium and titanium increase thermal stability of grafted groups in an oxidizing atmosphere and considerably decrease it in a vacuum.