This paper reports the current and voltage oscillograms of the pulsed discharge in the wide frequency range
(from 20 to 300 kHz) with the duty cycle from 15 to 85 % for two values of the nitrogen pressure 0.1 and 1 Torr. It
has been demonstrated that the current oscillograms of the pulsed glow discharge possess a plasma phase and an
afterglow phase. The following stages of the plasma phase have been observed: 1. A pulse of the capacitive current
of about 0.5…1 s in duration; 2. A stage of current growth which duration has depended on gas pressure; 3.
Current decrease occurring during tens of microseconds down to the level corresponding to the constant voltage
discharge.
Были измерены осциллограммы тока и напряжения импульсного разряда в широком диапазоне частот
(от 20 до 300 кГц), коэффициентов заполнения от 15 до 85 % для двух значений давлений азота 0,1 и
1 Tорр. Было получено, что осциллограммы тока тлеющего импульсного разряда имеют плазменную фазу и
фазу послесвечения. Наблюдались следующие этапы плазменной фазы: 1. Импульс емкостного тока
длительностью примерно 0,5…1 мкс; 2. Этап роста тока, длительность которого зависела от давления газа;
3. Уменьшение тока, длившееся десятки микросекунд, до уровня, соответствующего разряду с постоянным
напряжением.
Були виміряні осцилограми струму і напруги імпульсного розряду в широкому діапазоні частот (від 20
до 300 кГц), коефіцієнтів заповнення від 15 до 85 % для двох значень тиску азоту 0,1 та 1 Toрр. Було
отримано, що осцилограми струму тліючого імпульсного розряду мають плазмову фазу і фазу післясвітіння.
Спостерігалися наступні етапи плазмової фази: 1. Імпульс ємнісного струму тривалістю приблизно
0,5…1 мкс; 2. Етап зростання струму, тривалість якого залежала від тиску газу; 3. Зменшення струму, що
тривало десятки мікросекунд, до рівня, відповідного розряду з постійною напругою.
