Шустин, Е.Г.; Исаев, Н.В.; Темирязева, М.П.; Тараканов, В.П.; Федоров, Ю.В.
(Вопросы атомной науки и техники, 2008)
Представлен обзор свойств пучково-плазменного разряда, позволяющих использовать его в качестве плазменного реактора для низкоэнергетического травления поверхности полупроводниковых материалов. Проведены эксперименты по ...