Першин, Ю.П.; Девизенко, А.Ю.; Мамон, В.В.; Чумак, В.С.; Кондратенко, В.В.
(Журнал физики и инженерии поверхности, 2016)
Методами рентгеновской дифрактометрии и рентгеновской рефлектометрии (λ = 0,154 нм) исследованы структура и фазовый состав многослойных рентгеновских зеркал (МРЗ) W/Si, изготовленных методом прямоточного магнетронного ...