Бизюков, А.А.; Середа, К.Н.; Кашаба, А.Е.; Ромащенко, Е.В.; Чибисов, А.Д.; Поневчинский, В.В.; Слепцов, В.В.
(Вопросы атомной науки и техники, 2006)
Исследуются сильноточные импульсные режимы работы планарной магнетронной распылительной системы (МРС) с образованием на поверхности распыляемой мишени катодных пятен. Технологические испытания показали, что скорость осаждения ...