Дружинин, А.А.; Марьямова, И.И.; Матвиенко, С.Н.; Хорвенко, Ю.Н.
(Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2003)
Исследованы образцы поликремния р-типа на диэлектрических подложках в диапазоне температур 4,2-300 К и магнитных полях до 14 Тл, а также влияние деформации на их сопротивление. Показано, что слаболегированные нерекристаллизованные ...