Бажин, А.И.; Троцан, А.Н.; Чертопалов, С.В.; Стипаненко, А.А.; Ступак, В.А.
(Физическая инженерия поверхности, 2012)
Изучено влияние температуры подложки, состава рабочего газа и режимов DC и MF реактивного магнетронного распыления сплава 90%In + 10%Sn на структурное состояние, электрическое сопротивление, прозрачность и ширину запрещенной ...