Білоус, В.А.; Купрін, О.С.; Ломіно, М.С.; Овчаренко, В.Д.; Толмачова, Г.М.
(Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології, 2012)
Вакуумно-дуговою методою в умовах фільтрації плазмового потоку осаджено покриття TiAlSiN з твердістю від 30 до 45 ГПa, залежно від тиску азоту. Досліджено елементний склад покриттів зі зміною параметрів процесу. Показано ...