Індутний, І.З.; Минько, В.І.; Шепелявий, П.Є.; Сопінський, М.В.; Ткач, В.М.; Данько, В.А.
(Оптоэлектроника и полупроводниковая техника, 2011)
Досліджено процес формування фотонних структур на поверхні мікропрофільованих кремнієвих підкладок. Формування рельєфної структури на кремнієвій пластині у вигляді матриці виступів субмікронних розмірів здійснювали за ...