Деревянко, А.В.; Стервоедов, А.Н.; Силкин, М.Ю.
(2008)
В работе представлена комплексная система мониторинга, управления и стабилизации процесса ионно-лучевого осаждения. Также описана процедура оптимизации параметров процесса получения наноразмерных нитридных и оксинитридных ...