Сидоренко, С.Б.; Бевза, О.М.; Сидоренко, Я.С.
(Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології, 2017)
При термойонному реакційному випаровуванні алюмінію в середовищі кисню за допомогою термокатодної електронної гармати були одержані структури з розгалуженою поверхнею. Товщина покриття Al–O складала 3–16 мкм. Одержані ...