Руденко, Е.М.; Короташ, І.В.; Семенюк, В.Ф.; Шамрай, К.П.
(Наука та інновації, 2009)
Створена установка для іонно-плазмового формування вуглецевих нанотрубок та інших наноструктур. Установка містить високовакуумну систему відкачки, систему напуску робочих газів, камеру геліконного розряду, камеру дрейфа, ...