Вакив, Н.М.; Погорилко, Я.Р.; Шпотюк, О.И.
(Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 1998)
Обсуждается получение резистивных тонкопленочных конденсатов ионно-плазменным распылением металлосилицидных и керметных мишеней на установках УВН-75Р-3.