Лукин, К.А.; Татьянко, Д.Н.; Пих, А.Б.; Земляный, О.В.
(Радіофізика та електроніка, 2017)
В работе представлены результаты применения метода спектральной интерферометрии оптического диапазона для измерения толщин тонких пленок. Аналитически и экспериментально проанализирован спектр суммарного излучения на выходе ...