Гладковский, В.В.; Костин, Е.Г.; Полозов, Б.П.; Федорович, О.А.; Петряков, В.А.
(Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2014)
Представлены результаты исследований влияния на температуру подложки параметров высокочастотного разряда в плазмохимическом реакторе «Алмаз», разработанном и изготовленном в Институте ядерных исследований. Определено время ...