Глазунов, Г.П.; Андреев, А.А.; Бондаренко, М.Н.; Конотопский, А.Л.; Моисеенко, В.Е.; Столбовой, В.А.
(Физическая инженерия поверхности, 2011)
Исследован процесс эрозии TiN покрытий, полученных вакуумно-дуговым методом с использованием разных технологических приемов: при подаче высоковольтных импульсов отрицательной полярности на подложку и без таковых, при ...