Перегляд за автором "Матюшин, В.М."

Сортувати за: Порядок: Результатів:

  • Взаимодействие атомарного водорода с поверхностью монокристаллов кремния 
    Жавжаров, Е.Л.; Матюшин, В.М. (Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2006)
    Определена стабильность во времени потенциала поверхности кристаллов кремния после их модификации, выявлена зависимость механизма взаимодействия атомарного водорода с кристаллами от их параметров.
  • Стимулируемая водородом миграция атомов металлов в структурах «металл — полупроводник» 
    Матюшин, В.М.; Жавжаров, Е.Л. (Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2012)
    Представлены результаты исследования воздействия атомарного водорода на структуры Cu—Ge, Ni—Ge. Экспериментально показано, что обработка структур при комнатной температуре сопровождается внедрением атомов металла с аномально ...
  • Формирование нанопленок Cu, Ag, Au под воздействием атомов водорода 
    Жавжаров, Е.Л.; Матюшин, В.М. (Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2015)
    Приведены результаты экспериментального исследования процесса получения металлических нанопленок Ag, Cu, Au в среде атомарного водорода. Предложено два метода, позволяющих контролируемо получать пленки металлов толщиной ...