Белоус, В.А.; Лунев, В.М.; Носов, Г.И.; Толмачева, Г.Н.
(Физическая инженерия поверхности, 2011)
Проведены исследования характеристик Ti и TiN покрытий, полученных путем распыления мишени ионами, экстрагируемыми из источника газовой плазмы (ИГП). Показано, что такие покрытия, в отличие от вакуумно-дуговых, не содержат ...