Левченко, И.В.; Стратийчук, И.Б.; Томашик, В.Н.; Маланич, Г.П.; Станецкая, А.С.; Корчевой, А.А.
(Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології, 2017)
В данной статье рассмотрены особенности химико-динамического полирования полупроводников типа AIIIBV травильными композициями(NH₄) ₂Cr₂O₇–HBr–C₆H₈O₇ с использованием C₆H₈O₇ разной исходной концентрации.