Погребняк, А.Д.; Мухаммед, А.К.М.; Иващенко, М.Н.; Опанасюк, Н.Н.; Суджанская, И.В.
(Физическая инженерия поверхности, 2012)
Исследованы структурные свойства и морфология поверхности пленок оксида цинка и нитрида
алюминия. Установлено, что пленки формируются высокотекстурированными с хорошей адгезией к подложке. В результате рентгеноструктурных ...