Карелин, А.И.; Карелин., В.А.; Домашев, Е.Д.; Домашев, В.Е.; Юферова, А.П.; Абубекеров, Р.А.
(Промышленная теплотехника, 2004)
Поликристаллический полупроводниковый кремний (ППК) широко используется в солнечной энергетике при производстве больших и сверх больших интегральных схем, в микроэлектронике, и др. Предложенный в статье способ производства ...