Малеев, М.В.; Зубарев, Е.Н.; Пуха, В.Е.; Дроздов, А.Н.; Вус, А.С.; Пеньков, А.В.
(Физическая инженерия поверхности, 2015)
В работе исследованы закономерности роста пленок и эрозии поверхности при облучении мишеней из оксида индия-олова (ITO, 90 % In₂O₃ + 10 % SnO₂) пучком ускоренных ионов С₆₀ с энергией в интервале 2,5–20 кэВ при температуре ...