Азаренков, Н.А.; Литовченко, С.В.; Береснев, В.М.; Чишкала, В.А.; Велиев, Ю.И.
(Вопросы атомной науки и техники, 2014)
Изучены особенности формирования силицидных пленок на молибдене при конденсации ингредиентов, полученных испарением или распылением чистых дисилицидных компонентов. Проанализирована морфология и состав полученных конденсатов ...