Варшавская, И.Г.; Буховец, В.Л.
(Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения, 2011)
Исследовано осаждение пленок гидрогенизированного аморфного углерода из смеси циклогексанаргона и метана в низкотемпературной плазме тлеющего разряда при использовании двух электрических разрядов: частотой 50 Гц для создания ...