Перегляд за автором "Батурин, В.А."

Сортувати за: Порядок: Результатів:

  • Генерация и формирование пучков металлических ионов на высокодозном ионном имплантере 
    Батурин, В.А.; Еремин, С.А.; Пустовойтов, С.А.; Литвинов, П.А.; Карпенко, А.Ю.; Мирошниченко, В.И. (Вопросы атомной науки и техники, 2015)
    Разработана установка для высокодозной имплантации металлических ионов в диапазоне энергий 20…500 кэВ. Использован газомагнетронный источник ионов металлов распылительного типа. Проведено компьютерное моделирование процессов ...
  • Измерение толщины тонких углеродных фольг методом кварцевого резонатора 
    Батурин, В.А.; Карпенко, А.Ю.; Нагорный, А.Г.; Пустовойтов, С.А. (Вопросы атомной науки и техники, 2002)
    Описан способ измерения толщины тонких (~0,5 мкг/см²) углеродных фольг в процессе их изготовления, основанный на применении кварцевого резонатора. Показано, что в условиях импульсного вакуумного распыления графита применение ...
  • Источник кластерного пучка внешнего исполнения с лазерным испарением для широкого применения 
    Батурин, В.А.; Карпенко, А.Ю.; Пустовойтов, С.А. (Вопросы атомной науки и техники, 2006)
    Описан кластерный источник с лазерным испарением мишени, работающий в импульсном режиме. Отличительной особенностью источника является его внешнее исполнение, что упрощает юстировку лазера и даёт возможность использовать ...
  • Масс-спектрометр вторичных нейтралей на базе ионного имплантера 
    Батурин, В.А.; Еремин, С.А.; Пустовойтов, С.А. (Вопросы атомной науки и техники, 2006)
    Предложен вариант масс-спектрометра вторичных нейтралей с электронно-лучевой ионизацией распыленных частиц. Установка смонтирована на базе высокодозного ионного имплантера, формирующего сфокусированный и сепарированный по ...
  • Осаждение тонкопленочных покрытий с использованием источника кластерного пучка 
    Батурин, В.А.; Карпенко, А.Ю. (Вопросы атомной науки и техники, 2009)
    Представлены экспериментальные результаты исследований тонких пленок, полученных путем осаждения кластерного пучка на подложки из кремния. Для синтеза пленок использовался источник кластерного пучка с лазерным испарением. ...
  • Программа для численного моделирования системы извлечения ионного пучка в плазменном источнике ионов 
    Пустовойтов, С.А.; Батурин, В.А.; Ерёмин, С.А.; Карпенко, А.Ю. (Вопросы атомной науки и техники, 2008)
    Представлены физическая модель и алгоритм компьютерной программы, используемые для численного моделирования системы извлечения и первичного формирования ионного пучка в плазменном ионном источнике. Для сравнения результатов ...
  • Установка для нанесения покрытий методом атомно-ионного распыления материалов 
    Батурин, В.А.; Карпенко, А.Ю.; Кирик, Г.В.; Мирошниченко, В.И.; Нагорный, А.Г.; Еремин, С.А.; Пустовойтов, С.А.; Нагорный, В.А. (Наука та інновації, 2012)
    Разработана экспериментальная электронно-лучевая установка для нанесения противоэрозионных и противокорозионных покрытий на лопатки паровых турбин тепловых и атомных электростанций. Защитные покрытия наносятся методом ...
  • Экспериментальная установка для анализа вторичных нейтральных частиц 
    Батурин, В.А.; Еремин, С.А. (Вопросы атомной науки и техники, 2008)
    Предложена конструкция экспериментальной установки для масс-спектрометрического анализа нейтральной компоненты потока распыленных частиц. Установка смонтирована на базе высокодозного ионного имплантера, что позволяет ...
  • Экспериментальная установка для получения кластерных пучков 
    Батурин, В.А.; Карпенко, А.Ю.; Литвинов, П.А.; Пустовойтов, С.А. (Вопросы атомной науки и техники, 2006)
    Рассматривается экспериментальная установка для получения кластерных пучков. Описана простая конструкция источника кластерных ионов, который способен генерировать пучки нейтральных и ионизированных кластеров как газообразных, ...